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      • 半導體、FPD檢查顯微鏡 AL120-12
      半導體、FPD檢查顯微鏡 AL120-12

      AL120-12 AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。 人機工程學設計,操作方便 可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后

      產品簡介

       
      AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。

      人機工程學設計,操作方便

      • 可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設備的操作簡便性。
      • 分別對應FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。

      堅固、可靠和安全傳送

      • 延續了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
      • 薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
      • 宏觀觀察位置的最優化和操作單元的集中排列,提高了設備的操作舒適性。

      專用宏觀照明裝置

      專用宏觀照明裝置
      專用宏觀照明裝置
      為異物、傷痕、膜斑、散焦的發現提供了理想的照明方式
      高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合,實現了300 mm晶圓的冷光源全面照射。

      自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12 規格
        AL120-LMB12-LP AL120-LMB12-F
      晶圓尺寸 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm
      卡盒 ●FOUP(Front Opening Unified Pods)前開門標準夾
      ●SEMI:E47.1-0200規格產品
      ●FIMS-FOSB, FOSB
      ●FOSB(Front Opening Shipping Box)前開門搬運盒
      ●SEMI:M31-0999規格產品
      卡盒數 單盒(裝載、卸載兼用)
      卡盒設置高度 900 mm
      裝載端口
      搬運順序 表面宏、內面宏、顯微鏡檢查
      檢查模式 全部檢查、抽樣檢查
      晶圓校準 非接觸式中心環
      晶圓搬運方式 真空吸附機械搬運
      適用顯微鏡 半導體檢查顯微鏡MX61L
      應用環境 AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz
      真空-67~-80 Kpa
      載物臺 XY手動吸附載物臺,有XY粗調/微調和360度旋轉機構
      重量(不包括顯微鏡) 約360 kg 約270 kg
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