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      • 晶圓搬送機 AL120-12
      晶圓搬送機 AL120-12

      AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。 人機工程學設計,操作方便 可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后道工程中

      產品簡介

      AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。

      人機工程學設計,操作方便

      • 可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設備的操作簡便性。
      • 分別對應FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。

      堅固、可靠和安全傳送

      • 延續了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
      • 薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
      • 宏觀觀察位置的最優化和操作單元的集中排列,提高了設備的操作舒適性。
      AL120-12規格
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